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洁净室检测前，首先需要设置粒子计数器的采样流量，每个点采样3次，每次持续1分钟，单向流时，采样探头指向气流。如果气流方向不确定，采样探头应垂直向上，采样位置高度大约在0.8～1.5米高度，为工作区高度，采样点的选择要确保均匀分布洁净室或洁净区域。
粒子计数器一般按流量分为0.1CFM（2.83L/min）、1CFM（28.3L/MIN）、50L、100L等标准流量，大部分情况下洁净室每次采样1分钟，每个采样点采样3次 ，3个采样点以上时，每个采样点可以采样2次。空气洁净度等级的粒径范围应为0.1μm～5.0μm，ISO14664要求每个采样点的采样量至少为2升，采样时间最少为1分钟。
采样前需要计算最少采样点数，可以按照《洁净厂房设计规范》GB50073-2013中提供的公式进行计算。ISO 14644-1:20159(E)也提供了详细的计算公式，以及公式解读，并且给出了一个面积选择表，如下面表格所示，可根据洁净室检测的面积查到待测试的取样点最小数量。
有关洁净室区域的取样点：
|
洁净室面积(m2)少于或等于 |
待测试的取样点最小数量（NL） |
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2 |
1 |
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4 |
2 |
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6 |
3 |
|
8 |
4 |
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10 |
5 |
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24 |
6 |
|
28 |
7 |
|
32 |
8 |
|
36 |
9 |
|
52 |
10 |
|
56 |
11 |
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64 |
12 |
|
68 |
13 |
|
72 |
14 |
|
76 |
15 |
|
104 |
16 |
|
108 |
17 |
|
116 |
18 |
|
148 |
19 |
|
156 |
20 |
|
192 |
21 |
|
232 |
22 |
|
276 |
23 |
|
352 |
24 |
|
436 |
25 |
|
636 |
26 |
|
1000 |
27 |
|
>1000 |
见公式（A.1） |
|
备注1：如果被考虑面积在表格里两数值之间，取两者之间的较大数值。
备注2：如果是单向气流，区域可被视作移动空气断面于气流方向垂直。在其他所有情况下，可被视作洁净室或洁净区的平面图区域。 |
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